Przegląd metod skaterometrycznych stosowanych do aktywnej kontroli nierówności powierzchni *
A review of scatterometric methods applied to in-process inspection of surface roughness
Mechanik nr 11/2016 - XVI Krajowa VII Międzynarodowa Konferencja Naukowo-Techniczna „Metrologia w technikach wytwarzania”
STRESZCZENIE: W artykule dokonano przeglądu metod aktywnej kontroli nierówności powierzchni części maszyn wykorzystujących zjawisko rozpraszania światła. Dokonano krótkiej charakterystyki wybranych metod aktywnej kontroli chropowatości powierzchni.
SŁOWA KLUCZOWE: kontrola aktywna, ocena chropowatości powierzchni, rozpraszanie światła
ABSTRACT: The in-process inspection of surface texture of machine elements by methods that use light scattering is analysed. A brief characterization of selected methods of in-process inspection of surface roughness was presented.
KEYWORDS: in-process inspection, assessment of surface roughness, light scattering
BIBLIOGRAFIA / BIBLIOGRAPHY:
- Wieczorowski M. „Metrologia nierówności powierzchni – metody i systemy”. Szczecin, ZAPOL, 2013.
- Goch G., Schmitt R., Patzelt S., Stürwald S., Tausendfreund A. „In-situ and In-process Metrology for Optical Surfaces”. In Fabrication of Complex Optical Components. Berlin, Heidelberg: Springer, 2013.
- Baumgart J.W., Truckenbrodt H. “Scatterometry of honed surfaces”. Optical Engineering. Vol. 37, No. 5 (1998): pp. 1435–1441.
- Stover J.C. “Optical Scattering. Measurement and Analysis”. 3rd edition, Bellingham, WA: SPIE Press, 2012.
- Bennett J.M., Mattsson L. “Introduction to surface roughness and Scattering”. 2nd edition, Washington, D.C.: OSA, 1999.
- www.schmitt-ind.com/ (dostęp: 15.05.2016 r.).
- www.optosurf.de/ (dostęp: 15.05.2016 r.).
- Łukianowicz C., Karpiński T. “Optical system for measurement of surface form and roughness”. Measurement Science Review. Vol. 1, No. 1 (2001): pp. 151–154.
- Kapłonek W., Łukianowicz C. “Non-Contact Optical Metrology for Automated In-Process Inspection of Machined Surfaces”. Proceedings of the 11th IMEKO TC14 International Symposium on Measurement and Quality Control, Cracow (2013): pp. 36–39.
- Tian, G.Y., Lu R.S., Gledhill D. “Surface measurement using active vision and light scattering”. Optics and Lasers in Engineering. Vol. 45, No. 1 (2007): pp. 131–139.
- Kapłonek W., Nadolny K. “Laser methods based on an analysis of scattered light for automated, in-process inspection of machined surfaces: A review”. Optik – International Journal for Light and Electron Optics. Vol. 126, Iss. 20 (2015): pp. 2764–2770.
- Synak R. “Analysis and optimization of a total integrating scatter measuring unit based on a photodiode integrator”. Optical Engineering. Vol. 51, No. 11 (2012): pp. 11361.
- Zhenrong Z., Jing Z., Peifu G. “Roughness characterization of well-polished surfaces by measurements of light scattering distribution”. Optica Applicata. Vol. 40, No. 4 (2010): pp. 811–818.
