Postępy nanometrologii układów MEMS/NEMS *

Progress in nanometrology of MEMS/NEMS devices

Magdalena Moczała, Andrzej Sierakowski, Paweł Janus, Piotr Grabiec, Wojciech Leśniewicz, Teodor Gotszalk | 29-10-2016

Mechanik nr 11/2016 - VII Kongres Metrologii „Metrologia fundamentem postępu w naukach stosowanych”

STRESZCZENIE: Przedstawiono podstawowe zagadnienia pomiaru właściwości układów mikro- i nanoelektromechanicznych (micro- and nanoelectromechanical systems – MEMS/NEMS) przeznaczonych do wysokorozdzielczych obserwacji zmian masy i siły w zakresie mniejszym niż 1 ng i 1 pN.

SŁOWA KLUCZOWE: nanometrologia, układy MEMS, układy NEMS

ABSTRACT: In the presented paper we discuss high resolution and sensitivity measurement method used in the characterization of modern micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS, NEMS), which are foreseen to perform mass detection and force investigations in the range from 1 ng and 1 pN.

KEYWORDS: nanometrology, MEMS/NEMS devices

BIBLIOGRAFIA / BIBLIOGRAPHY:

Li M., Tang H.X., Roukes M.L. “Ultra-sensitive NEMS-based cantilevers forsensing, scanned probe and very high-frequency applications”. Nat.Nanotechnol. 2 (2007): pp. 114–120.
Ekinci K.L., Roukes M.L., “Nanoelectromechanical systems”, Review of Scientific Instruments. 76, 061101 (2005): pp. 1–12.
Jóźwiak G., Kopiec D., Zawierucha P., Gotszalk T., Janus P., Grabiec P., Rangelow I.W., “The spring constant calibration of the piezoresistive cantilever based biosensor”. Sensors and Actuators, B: Chemical. 170 (2012): p. 201.
Nieradka K., Kopiec D., Małozięć G., Kowalska Z., Grabiec P., Janus P., Sierakowski A., Domański K., Gotszalk T., “Fabrication and characterization of electromagnetically actuated microcantilevers for biochemical sensing, parallel AFM and nanomanipulation”. Microelectronic Engineering. (2012): pp. 676–679.
Woszczyna M., Zawierucha P., Pałetko P., Zielony M., Gotszalk T., Sarov Y., Ivanov T., Frank A., Zöllner J., Rangelow I.W. “Micromachined scanning proximal probes with integrated piezoresistive readout and bimetal actuator for high eigenmode operation”. J. Vac. Sci. Technol. B 28 (2010).
Bao M. H. “Micro Mechanical Transducers”. Elsevier, 2000.
Senturia S.D., “Microsystem Design”. Kluwer Academic Publishers, 2002.
Sikorski S. „Wstęp do elektroniki półprzewodników”. Warszawa: ITE, 2010.
Moczała M., Babij M., Majstrzyk W., Sierakowski A., Dobrowolski R., Janus P., Grabiec P., Gotszalk T. „Technology of thermally driven and magnetomotively detected MEMS microbridges”. Sensors and Actuators A: Physical. 240 (2016): pp. 17–22.
Tortonese M., Barrett R.C., Quate C.F. “Atomic resolution with an atomic force microscope using piezoresistive detection”. Applied Physics Letters. 62 (1992).