Wpływ rozdzielczości czujnika konfokalnego na pomiary struktury geometrycznej powierzchni *

Influence of confocal probe resolution on surface texture measurement

Aneta Łętocha, Tatiana Miller, Krzysztof Gajda | 30-10-2016

Mechanik nr 11/2016 - XVI Krajowa VII Międzynarodowa Konferencja Naukowo-Techniczna „Metrologia w technikach wytwarzania”

STRESZCZENIE: Artykuł przestawia badania mające na celu ocenę wpływu rozdzielczości czujnika optycznego na pomiary struktury geometrycznej powierzchni. Badania wykonano z użyciem czujników mierzących metodą konfokalnego profilowania. Dobrano powierzchnie o nieokresowym charakterze. Przeprowadzono analizę parametrów chropowatości profilu oraz powierzchni.

SŁOWA KLUCZOWE: metoda konfokalnego profilowania, topografia powierzchni, chropowatość, metodyka pomiaru

ABSTRACT: Paper presents research performed in order to evaluation of influence of optical probe resolution on surface texture measurements. Measurements were performed with use confocal profiling probes. Surfaces with aperiodic character were selected. Analysis of roughness profile and surface parameters was performed.

KEYWORDS: confocal profiling method, surface texture, roughness, measurement methodology

BIBLIOGRAFIA / BIBLIOGRAPHY:

Adamczak S., Świderski J., Dobrowolski T. “Selected aspects of contact measurements of surface texture in nano scale”. 5^thInternational Conference on Surface Metrology. Poznań: 2016.
Thomas T.R. „Rough Surfaces”. Second Edition. London: Imperial College Press, 1999.
Wieczorowski M. „Wykorzystanie analizy topograficznej w pomiarach nierówności powierzchni, rozprawa doktorska”. Poznań: Wydawnictwo Politechniki Poznańskiej, 2009.
ISO 25178-602, Geometrical product specifications (GPS) – Surface texture: Areal – Part 602: Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments.
Leach R. „Optical measurement of surface topography”. Springer, 2011.
ISO 16610-31, Geometrical product specifications (GPS) – Filtration – Part 31: Robust profile filters: Gaussian regression filters.
ISO 16610-71, Geometrical product specifications (GPS) – Filtration – Part 71: Robust areal filters: Gaussian regression filters.
ISO 25178-2, Geometrical product specifications (GPS) – Surface texture: Areal – Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters.