Zadanie proste i odwrotne w skaterometrii nierówności powierzchni *

Direct and inverse problems in scatterometry of rough surfaces

Czesław Łukianowicz | 29-10-2016

Mechanik nr 11/2016 - VII Kongres Metrologii „Metrologia fundamentem postępu w naukach stosowanych”

STRESZCZENIE: Przedstawiono dwa podstawowe problemy związane z zastosowaniem w pomiarach nierówności powierzchni zjawiska rozpraszania światła. Przybliżono ideę rozwiązania zadania odwrotnego w pomiarach wykorzystujących optyczne przekształcenie Fouriera.

SŁOWA KLUCZOWE: zadanie proste, zadanie odwrotne, rozpraszanie światła, powierzchnie nierówne

ABSTRACT: Two major problems associated with the use phenomenon of light scattering for the measurement of surface roughness are outlined briefly. Idea solve the inverse problem in the measurements using optical Fourier transform is shown.

KEYWORDS: direct problem, inverse problem, light scattering, rough surfaces

BIBLIOGRAFIA / BIBLIOGRAPHY:

Wieczorowski M. „Metrologia nierówności powierzchni – metody i systemy”. Szczecin, ZAPOL, 2013.
Stover J.C. “Optical Scattering: Measurement and Analysis”. 3rd Edition, Bellingham, SPIE Press, 2012.
Halhweg C., Rothe H. “Rough surface scatterometry of bodies with rotational symmetry”. Proc. of SPIE. Vol. 7065, (2008): pp. 70650H-1-6.
Afifi S.E., Dusseaux R. “Scattering by random rough surfaces: Study of direct and inverse problem”. Optics Communication. Vol. 265, No. 1 (2006): pp. 11–17.
Baltes H.P. (ed.) “Inverse Scattering Problems in Optics”. Springer, Berlin, Heidelberg, 2012.
Colton D., Kress R. “Inverse Acoustic and Electromagnetic Scattering Theory”. New York, Heidelberg, Springer, 2012.
Mroczka J., Szczuczyński D. “Inverse problems formulated in terms of first-kind Fredholm integral equations in indirect measurement”. Metrology and Measurement Systems. Vol. 16, No. 3 (2009): pp. 333–357.
Szczuczyński D.K., Mroczka J. “Comparing the quality of solutions of inverse problem in nephelometric and turbidimetric measurements”. Optica Applicata. Vol. 39, No. 3 (2009): pp. 521–531.
Łukianowicz Cz. “Inverse problem in scatterometry of rough surfaces”. Optica Applicata. Vol. 33, No. 2–3 (2003): pp. 315–327.